半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量無機物，包括許多有害有害物質(zhì)，對環(huán)境危害較為嚴重。如不通過尾氣處理設(shè)備對廢氣尾氣加以控制，將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。因此，需要進行廢氣處理工程。
半導(dǎo)體廢氣成分
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的酸性廢氣主要來源于清洗工序，其中使用的清洗劑溶劑中含有大量酸性廢氣，主要成分為硝酸，硫酸，氫氟酸等，在工藝過程中，這些大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。
半導(dǎo)體廢氣處理方法
半導(dǎo)體酸廢氣處理主要采用方法：噴淋法。
根據(jù)企業(yè)情況，此案例主要是采用堿液體二級噴淋法，又稱化學洗滌法。
因液體自身具有的溶解特性，可以更好地利用酸堿中和去除污染物，而達到大氣排放標準，故噴淋法是半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。

酸霧凈化塔工藝
通過設(shè)備直接連接將廢氣收集起來，在風機的作用下將廢氣源源不斷向凈化設(shè)備輸送，再經(jīng)過通風管道的輸送作用，使廢氣輸送到系統(tǒng)的噴淋塔內(nèi)，氣體在噴淋塔塔內(nèi)經(jīng)過堿性洗液的噴淋洗滌過程，廢氣中所含有的容易產(chǎn)生酸霧的氣體成份充分與堿性水霧接觸混合并且發(fā)生中和反應(yīng)，并且形成較好的氣液兩相交和。經(jīng)過噴淋后的水霧再在洗滌塔內(nèi)的填料層內(nèi)形成一個多孔接觸面較大的處理層，從而進一步對酸霧進行治理。

酸霧洗滌塔適用范圍：
酸霧洗滌塔主要適用于硫酸、硝酸、氫氟酸、鹽酸等生產(chǎn)工藝操作過程產(chǎn)生酸/堿性廢氣處理。

來源：環(huán)保